真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。它包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。且随着真空技术在生产和科学研究领域中,对其应用压强范围的要求越来越宽,大多都是需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时会通过将各种真空泵按其性能要求组合起来的方法,以机组型式应用。伴随着我国经济的快速发展,近几年我国真空泵行业已经实现了稳定发展的模式。